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液态气体
1、高纯液氧
产 品 规 格
纯度
杂质含量
Ar
N
2
CH
4
CO
2
≥99.995%
ppm
≤5
≤20
≤2
≤1
2、液氩
产 品 规 格
品名
纯度
杂质含量
N
2
O
2
H
2
总碳
高纯液氩
≥99.999%
ppm
≤4
≤2
≤1
≤2
纯液氩
≥99.99%
ppm
≤50
≤10
≤5
≤10
3、液氮
产 品 规 格
品名
纯度
杂质含量
O
2
高纯液氮
≥99.999%
ppm
≤3
纯液氮
≥99.99%
ppm
≤50
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